INFORMAÇÕES ADICIONAIS

Sistema de escolha de produto e consulta

Guias lineares de rolosKUVE (guias lineares de esferas)
 
CONTATO
Aplicações

Litografia

Guias de rolos altamente precisos para mesas de coordenadas.

Para imprimir as estruturas nos chips, eles são revestidos com resina foto-sensível. A resina foto-sensível é iluminada através de uma máscara e ela se movimenta onde a luz incide.

Na produção dos semi-condutores da próxima geração serão utilizadas estruturas com menos de 60 nm, para alcançarmos alta capacidade de memória e velocidade.

Mesas de coordenadas movidas com motores lineares garantem o movimento do substrato e da máscara de projeção. A base da máquina foram uma estrutura estável, amortecendo as oscilações e um guia altamente preciso, por exemplo o guia linear de rolos INA RUE. Este guia é de baixíma emissão de ruído e possui uma resistência uniforme ao movimento e deslocamento - adequado para posicionamentos repetidos e exatos.